在 ISSCC 2021 国际固态电路会议上,台积电联席 CEO 刘德音公布了该公司的最新工艺进展情况,指出 3nm 工艺超过预期,进度将会提前。不过刘德音没有公布 3nm 工艺到底如何超前的,按照他们公布的信息,3nm 工艺是今年下半年试产,2022 年正式量产。
与三星在 3nm 节点激进选择 GAA 环绕栅极晶体管工艺不同,台积电的第一代 3nm 工艺比较保守,依然使用 FinFET 晶体管。
与 5nm 工艺相比,台积电 3nm 工艺的晶体管密度提升 70%,速度提升 11%,或者功耗降低 27%。
不论是 5nm 还是 3nm 工艺,甚至未来的 2nm 工艺,台积电表示 EUV 光刻机的重要性越来越高,但是产能依然是 EUV 光刻的难题,而且能耗也很高。
刘德音提到,台积电已经 EUV 光源技术获得突破,功率可达 350W,不仅能支持 5nm 工艺,甚至未来可以用于 1nm 工艺。
按照台积电提出的路线图,他们认为半导体工艺也会继续遵守摩尔定律,2 年升级一代新工艺,而 10 年则会有一次大的技术升级。
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