每日新闻 国产套刻8nm光刻机引争议 部分关键指标不如ASML 2006年推出的干式DUV光刻机XT 1450，所以总体差距在15—20年 日前，工信部印发的《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》（以...
